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首頁 ?流量 ?管道式 ?820 系列氣體質量流量儀

820 系列氣體質量流量儀

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產品特點:


直接質量流量監(jiān)測,無需壓力和溫度傳 感
數(shù)字質量流量顯示(顯示板可遠程安 裝)
質量流量電信號輸出(可用于控制,數(shù)據記錄)
快速的響應能力(2 秒)
大而直的傳感器管道減少了污染和維 修停用期
鉑傳感器消除了零漂,確保長期穩(wěn)定
基本標準標定確保了起始點準確性和
NIST 可追蹤性
CE 認證
獲中華人民共和國計量器具批準證書(CPA)

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操作規(guī)格 氣體:
大多數(shù)氣體;檢查與儀表材料的兼容性;訂貨時具體指出。
質量流量:
0~10sccm 到 0~50slpm;指定的流量范圍是 76 厘米 汞柱、21oC(70oF)下的氮氣對應流量范圍;用其他單位表示的流
量范圍也可提供( 即 : scfh  或 nm3/hr)。
氣體壓力:
150psig(10barg)最大;20psig(1.4barg)最佳。
氣體&環(huán)境溫度:
32oF 到 122oF(0oC 到 50oC)。
防滲漏功能:
最大為 1×10-4  atm cc/sec(氦氣)。

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性能規(guī)格
精度:
±1.5 滿度,在 15oC~25℃及 5 到 60psia(0.3 到 4bara)范圍內。 如果流量計是通過垂直流量通路安裝的,
則準確度為下所示:


                             操作壓力


入口壓力差   50psig         100psig        150psig
±1psig       ±1.5%滿度   ±1.5%滿度     ±1.5%滿度
±5psig       ±3.8%滿度   ±4.5%滿度     ±5.3%滿度
±10psig     ±6%滿度      ±7.5%滿度     ±9%滿度

 

重復性:
±0.5%滿度。
溫度系數(shù):
0.08%滿度每 oF(0.15%滿度每 oC),或更好。
壓力系數(shù):
0.01%滿度每 psi(0.15 滿度每 bar),或更好。
響應時間:
時間常數(shù) 800 毫秒;6 秒到最終值的±2%以內(滿 度的 25%到 100%)。


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